為什么半導體加工生產(chǎn)中會應用到超純水?

時間：2023-06-16

　　我們都知道，半導體在加工生產(chǎn)的過程中會需要一定量的超純水，對于其品質(zhì)的要求也是極高的。那什么是超純水呢?超純水是指一種電阻率達到18 MΩ*cm的一種水，這類水幾乎沒有什么雜質(zhì)，不含有任何細菌、病毒等有機物，完全可用在半導體領(lǐng)域。這樣的超純水普通工藝基本很難制取出來，并且對于超純水制取的標準也是極其嚴格的。

　　對比傳統(tǒng)超純水生產(chǎn)工藝，現(xiàn)如今應用的超純水設備多是采用膜技術(shù)，再應用反滲透+EDI系統(tǒng)+拋光混床相結(jié)合的工藝來制取超純水，具有運行成本低，運行可靠的優(yōu)點，出水水質(zhì)符合國家電子級超純水標準GBT11446.1-2013EW-Ⅰ標準。

超純水設備

　　超純水設備引人注目的優(yōu)點：

　　1、有效降低水質(zhì)的離子含量

　　EDI是一種將離子交換膜技術(shù)和離子電遷移技術(shù)相結(jié)合的純水制造技術(shù)，無需酸堿再生，是一種新型的脫鹽方式。EDI無需再生化學品的再生，運行成本低，EDI系統(tǒng)的自動化程度很高，連續(xù)工作，出水水質(zhì)好且穩(wěn)定，出水電阻率≥15MΩ·CM。

　　2、高品質(zhì)高回收率

　　設備采用曲線微導力技術(shù)，應用超純水膜元件，在拋光段采用陶氏進口拋光樹脂以及自主研發(fā)的除硼專用樹脂，在保證系統(tǒng)高回收率的同時，有效提高系統(tǒng)的產(chǎn)水水質(zhì)。

　　3、自動化程度高、運行費用低

　　自動化程度高，遇故障立即自停，具有自動保護功能，且能耗低、水利用率高、運行成本低。

　　超純水設備因其結(jié)構(gòu)設計比較緊湊，占地面積小，可以為企業(yè)節(jié)省大量的空間得到了許多半導體行業(yè)的歡迎?？蓮V泛運用于電子芯片、集成電路及封裝、光伏、晶圓、科研、航空航天、半導體等領(lǐng)域。

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　　編輯：虞美人技術(shù)：米

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